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双面研磨/抛光机
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双面研磨/抛光机
YJ-9.6B10L/PE&YJ-9B5L/PE

被加工件最大厚度:20mm
被加工件最大直径:180mm
机器重量:约1900kg
本机器主要适用于硅片、石英晶片、光学晶体、玻璃、宝石、铌酸锂、砷化镓、陶瓷片等薄脆金属或非金属的研磨或抛光。
The machine is suitable for double side lapping and polishing of thin and fragile metal or non-metal parts such as silicon wafer, crystal quartz, optical crystal, glass, jewelry, lithium niobium acid, gallium arsenide, and ceramic wafer, etc.
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产品描述
参数

产品特点产品特点
  • 机器采用四电机驱动,游星轮在上下盘之间做行星运动,工件上下表面同时均匀研磨/ 抛光,生产效率高;
  • 机器采用内齿圈升降,内齿圈升降采用点动控制方式操作,使操作者能自由控制齿圈升降高度;
  • 下盘不抬升,设置了调节水平的三点支承结构,可对下盘的偏斜进行微调,以提高机器精度;
  • 电机采用变频调速器控制,能在有效设置范围内以任意速度工作;
  • 气动系统采用优质气控元件,上盘、齿圈升降平稳无爬行现象,上盘下降过程中,设置了快降和缓降;
  • 太阳轮、齿圈皆可以单独调速,能灵活调整工艺参数,工艺适应性强。

项目 规格 项目 规格
YJ-9B5LE YJ-9.6B10LE

上盘(mm)

下盘(mm)

(外径x内径x厚度)

φ638xφ222x40 (上盘)

φ638xφ222x40 (下盘)

上盘(mm)

下盘(mm)

(外径x内径x厚度)

φ622xφ386x40 (上盘)

φ622xφ386x40 (下盘)

安装游星轮个数 5 安装游星轮个数 10
被加工件最大厚度(mm) 20 被加工件最大厚度(mm) 20
被加工件最大直径(mm) 180 被加工件最大直径(mm) 100
下盘转速 0-50r/min 下盘转速 0-50r/min
上盘转速 0-40r/min 上盘盘转速 0-40r/min
内齿圈抬升行程 0-25mm 内齿圈抬升行程 0-25mm
主电机 3相 3kw可增至5.5kw 1450 r/min 主电机 3相 3kw 1450 r/min
砂泵电机 120W 砂泵电机 120W
抛光时间设定范围 0-9999s 抛光时间设定范围 0-9999s
气源压力 0.5-0.6Mpa 气源压力 0.5-0.6Mpa
工作压力 0.45-0.6Mpa 工作压力 0.45-0.6Mpa
装机容量 约6KVA可增至9KVA 装机容量 约6KVA
外形尺寸(长x宽x高) 1400x970x2340 (mm) 外形尺寸(长x宽x高) 1400x970x2340 (mm)
设备质量 约1900kg 设备质量 约1900kg
设备每平方米重量 约1400kg/m2 设备每平方米重量 约1400kg/m2
设备要求地面承重 1550kg/m2 设备要求地面承重 1550kg/m2
YJ-9B5PE YJ-9.6B10PE

上盘(mm)

下盘(mm)

(外径x内径x厚度)

φ638xφ222x40 (上盘)

φ638xφ222x40 (下盘)

上盘(mm)

下盘(mm)

(外径x内径x厚度)

φ622xφ386x40 (上盘)

φ622xφ386x40 (下盘)

安装游星轮个数 5 安装游星轮个数 10
被加工件最大厚度(mm) 20 被加工件最大厚度(mm) 20
被加工件最大直径(mm) 180 被加工件最大直径(mm) 100
下盘转速 0-50r/min 下盘转速 0-50r/min
上盘转速 0-40r/min 上盘盘转速 0-40r/min
内齿圈抬升行程 0-25mm 内齿圈抬升行程 0-25mm
主电机 3相 3kw可增至5.5kw 1450 r/min 主电机 3相 3kw 1450 r/min
砂泵电机 120W 砂泵电机 120W
抛光时间设定范围 0-9999s 抛光时间设定范围 0-9999s
气源压力 0.5-0.6Mpa 气源压力 0.5-0.6Mpa
工作压力 0.45-0.6Mpa 工作压力 0.45-0.6Mpa
装机容量 约6KVA可增至9KVA 装机容量 约6KVA
外形尺寸(长x宽x高) 1400x970x2340 (mm) 外形尺寸(长x宽x高) 1400x970x2340 (mm)
设备质量 约1900kg 设备质量 约1900kg
设备每平方米重量 约1400kg/m2 设备每平方米重量 约1400kg/m2
设备要求地面承重 1550kg/m2 设备要求地面承重 1550kg/m2

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