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双面研磨/抛光机
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双面研磨/抛光机
YJ-16B5L/PE

被加工件最大厚度:35mm
被加工件最大直径:φ380mm
机器重量:约4200kg
本机器适用于硅片、石英晶片、宝石片、光学水晶、光学玻璃、铌酸锂、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。
The machine is suitable for double-side precision lapping and polishing of silicon wafer, crystal quartz wafer, sapphire wafer, optical crystal, optical glass, lithium niobium acid, ceramic wafer, and other hard and fragile materials.
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产品描述
参数

产品特点产品特点
  • 机器采用双电机驱动,游星轮在上下盘之间做行星运动,工件上下表面同时均匀研磨/ 抛光;
  • 盘面操作高度控制在1050mm 以内,增加机器的稳定性,适合操作;
  • 内齿圈、太阳轮同步升降并采用点动操作方式;
  • 上盘装置增加机械的安全装置,在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降,增加了安全性;
  • 可实现游星轮的正、反转;通过游星轮正转和反转,实现盘面的修磨。

项目 规格 项目 规格
YJ-16B5PE YJ-16B5LE

上下盘(mm)

(内径x外径x厚度)

φ1140xφ375x45 (柱销齿)

上下盘(mm)

(内径x外径x厚度)

φ1140xφ375x45 (柱销齿)
φ1128xφ362x50 (渐开线齿) φ1128xφ362x50 (渐开线齿)
最小抛光厚度 (mm) 0.4 最小抛光厚度 (mm) 0.4
最大抛光厚度 (mm) 35 最大抛光厚度 (mm) 35
最大抛光直径(mm) φ380 最大抛光直径(mm) φ380
安装游星轮个数 5 安装游星轮个数 5
下盘转速 0-50RPM 下盘转速 0-50RPM
上盘提升气缸行程 450mm 上盘提升气缸行程 450mm
齿圈抬升行程 30mm 齿圈抬升行程 30mm
上盘电机 三相 7.5Kw 1450rpm 上盘电机 三相 7.5Kw 1450rpm
下盘电机 三相 7.5Kw 1450rpm 下盘电机 三相 7.5Kw 1450rpm
太阳轮电机 三相 1.5kw 1450rpm 太阳轮电机 三相 1.5kw 1450rpm
砂泵电机 250W 砂泵电机 250W
加压范围 0-500kg 加压范围 0-500kg
工作压力 0.5-0.6Mpa 工作压力 0.5-0.6Mpa
装机容量 约18KVA 装机容量 约18KVA
外形尺寸 1970x1765x2670 (mm) 外形尺寸 1970x1765x2670 (mm)
设备质量 约4200kg 设备质量 约4200kg
设备每平方米重量 约1550kg/㎡ 设备每平方米重量 约1550kg/㎡
设备要求地面承重 约1710kg/㎡ 设备要求地面承重 约1710kg/㎡

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