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磁控AF镀膜机
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磁控AF镀膜机
YCAF1916A

总功率:148KW
尺寸:W4500×D6000×H3250mm
机器重量:9(t)
设备专门用于IT 制造业结构件真空镀膜加工,各系统单元和总体构成满足光学和功能薄膜生产工艺要求,适用AR膜、NCVM颜色膜、金属装饰膜、金属功能膜、AF功能膜等。
The equipment is specially used for vacuum coating processing of structural parts of IT manufacturing. Each system unit and overall composition meets the requirements of optical and functional film production process. It is suitable for AR film, NCVM color film, metal decorative film, metal functional film, AF functional film and so on.
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产品描述
参数

 

 

 

  • 设备专门用于IT 制造业结构件真空踱膜加工,各系统单元和总体构成满足光学和功能薄膜生产工艺要求,适用AR膜、NCVM颜色膜、金属装饰膜、金属功能膜、AF功能膜等。
  • 该渡膜机镀膜机采用立式箱体,前置室门上装有观察窗,箱内安装转架驱动,炉内安装烘烤系统,后置排气法兰连接高真空泵;

1) 前级真空:由旋片泵、 罗茨泵构成;

2) 高真空:扩散泵、 超低温冷凝水捕集泵(Polycold) , 真空室和扩散泵冷阱;

3) 抽气系统:由各级泵、 管道和阀门,在系统的控制下完成启动、 粗抽精抽、 待命和维持流程。

 

 

 

 

项目 规格
成膜系统
1)中频电源旋转阴极李生圆柱靶*1, 另外预留对靶位(电源可转换分别驱动两套靶)
2)8舟阻抗式蒸发源*2;
3)离子轰击棒*4。
工作模式
离子清洗、 加热蒸发,石英晶体薄膜厚度控制器监控膜厚并自动判停。
工艺流程
装夹-抽真空-离子清洗-电子枪蒸渡-阻抗式蒸发AF- 进气、 出炉。
功率
总功率148KW, 平均功率48KW
设备外尺寸及总重
1)主框架及控制柜,不开门 W4500× D6000× H3250 , 开门 W4500×D7300× H3250;
2)粗抽泵组及粗抽管占地:2000×1500;
3)主框架外部必要的操作和维护维护空间:水平方向外延伸 800mm; 垂直向上延伸 400mm
4)总重:9 吨

 

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