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        • 产品名称: YJ-22B5L╱PA双面研磨/抛光机
        • 产品编号: c94
        • 上架时间: 2017-10-16
        • 浏览次数: 173

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          本机器主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光,也适用于其它金属、非金属、光学玻璃等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。

          机器采用四电机驱动,下盘、上盘、内齿圈和太阳轮分别由电机单独驱动。
          机器整体结构紧凑,运行平稳,有效地缩短各传动轴的长度,增加机器的机械刚度。
          内齿圈、太阳轮同步升降并采用点动操作方式。
          上盘装置增加机械的安全装置,在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降,增加了安全性。
          通过改变内齿圈、太阳轮的速度,调整实现游星轮的正、反转。
         

        项目

        规格

        上(下)盘尺寸

        φ1458×φ498×50(mm)

        工件厚度

        最大:40(mm)  最小:0.6(mm)

        工件直径

        最大:480(mm)

        下盘转速

        0~50(rpm)

        游星轮数量

        5

        游星轮参数

        Z=184    Mn=3

        上盘压力范围

        20~780(Kg)

        电源/耗电量

        3相-380V/38KVA
        3 phase-380V/38KVA

        气源/耗气量

        0.5(Mpa)/30(L/min)

        主机尺寸

        2950×2000×2950(mm)

        机器重量

        ~9000(Kg)

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